ΔΙΣΚΟΣ ΚΑΡΒΙΔΙΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ
Εφαρμογές: Διαδικασία χάραξης ICP για υλικά λεπτής μεμβράνης επιταξιακής στρώσης (GaN, SiO2, κ.λπ.) για πυρήνες πλακιδίων LED, διάχυση ημιαγωγών με χρήση κεραμικών εξαρτημάτων ακριβείας και επιταξιακή διαδικασία MOCVD για γκοφρέτες ημιαγωγών. Οι κεραμικοί δίσκοι καρβιδίου πυριτίου είναι κατασκευασμένοι από υψηλής καθαρότητας, μη συμπιεσμένο πυροσυσσωματωμένο κεραμικό υλικό καρβιδίου του πυριτίου, το οποίο έχει τα πλεονεκτήματα της υψηλής σκληρότητας, αντοχής στη φθορά, υψηλής θερμικής αγωγιμότητας, μηχανικής σταθερότητας σε υψηλή θερμοκρασία και αντοχής στη διάβρωση, καθώς και υψηλής ακρίβειας και ομοιομορφίας της γκοφρέτας επιταξιακό στρώμα χάραξη.
Περιγραφή
Οι δίσκοι SiC έχουν πολλά πλεονεκτήματα σε σύγκριση με άλλους τύπους δίσκων. Πρώτα απ 'όλα, η υψηλή θερμική τους αγωγιμότητα τα καθιστά ιδανικά για διεργασίες θερμικής επεξεργασίας, όπως πυροσυσσωμάτωση και χαλκοσυγκόλληση. Μπορούν να αντέξουν θερμοκρασίες έως και 1650 βαθμούς χωρίς παραμόρφωση ή υποβάθμιση, πράγμα που σημαίνει ότι μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε σκληρά περιβάλλοντα όπου άλλα υλικά θα αστοχούσαν.
Δεύτερον, οι δίσκοι καρβιδίου του πυριτίου είναι χημικά αδρανείς και δεν αντιδρούν με τις περισσότερες χημικές ουσίες, συμπεριλαμβανομένων των οξέων, των βάσεων και των αλάτων. Αυτό το χαρακτηριστικό τα καθιστά ιδανικά για χρήση στη χημική και φαρμακευτική βιομηχανία, όπου χρησιμοποιούνται συχνά σκληρά χημικά.
Τρίτον, οι δίσκοι SiC είναι ιδιαίτερα ανθεκτικοί στην τριβή και έχουν χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής. Αυτό τα καθιστά ιδανικά για χρήση σε εφαρμογές κλιβάνων υψηλής θερμοκρασίας όπου τα μέρη πρέπει να εφαρμόζουν καλά και να μην διαστέλλονται ή συστέλλονται λόγω θερμικών αλλαγών.
