Σύνθεση φάσης χημικών ατμών βοριδίου νιτριδίου

Το 1979, η Sokolowski χρησιμοποίησε με επιτυχία την τεχνολογία παλμικού πλάσματος για να προετοιμάσει φιλμ κυβικού νιτριδίου (CBN) σε χαμηλή θερμοκρασία και χαμηλή πίεση. Ο εξοπλισμός που χρησιμοποιείται είναι απλός και η διαδικασία είναι εύκολο να πραγματοποιηθεί, οπότε έχει αναπτυχθεί γρήγορα. Έχουν προκύψει μια ποικιλία μεθόδων εναπόθεσης ατμών. Παραδοσιακά, αναφέρεται κυρίως σε εναπόθεση θερμικών χημικών ατμών. Η πειραματική συσκευή αποτελείται γενικά από έναν ανθεκτικό στη θερμότητα σωλήνα χαλαζία και μια συσκευή θέρμανσης. Το υπόστρωμα μπορεί να θερμανθεί με φούρνο θέρμανσης (CVD θερμού τοιχώματος) ή επαγωγική θέρμανση υψηλής συχνότητας (ψυχρό τοίχωμα CVD). Το αέριο της αντίδρασης αποσυντίθεται στην επιφάνεια του υποστρώματος υψηλής θερμοκρασίας και ταυτόχρονα λαμβάνει χώρα μια χημική αντίδραση για την απόθεση ενός υμενίου. Το αέριο αντίδρασης είναι ένα μικτό αέριο BCl₃ ή Β₂H₄και ΝΗ₃.