Τα σκάφη εξάτμισης υπερέχουν σε φούρνους κενού

Το σκάφος εξάτμισης είναι ένας κλίβανος κενού για να επιτευχθεί τα βασικά συστατικά της επικάλυψης εξάτμισης υλικού, η λειτουργία του είναι να φέρει την εξάτμιση των υλικών και να το εξατμιστεί με θέρμανση, που εναποτίθεται σε περιβάλλον κενού για να σχηματίσει ένα λεπτό φιλμ. Τα ακόλουθα από τη σκηνή εφαρμογής, τις ιδιότητες υλικών, τα τεχνικά σημεία και τις εφαρμογές της βιομηχανίας και άλλες πτυχές της λεπτομερούς ανάλυσης του σκάφους εξάτμισης στις εφαρμογές του φούρνου κενού:

Μια βασική σκηνή εφαρμογής

1. Η εναπόθεση λεπτού φιλμ και ο φούρνος κενού από την παρασκευή μεμβράνης μέσω της εξάτμισης των υλικών θέρμανσης των σκαφών εξάτμισης (μέταλλα, κράματα, ενώσεις κλπ.) (Sio₂, sinₓ), που χρησιμοποιείται στην κατασκευή τσιπ, τα κυκλώματα, τις συσκευές MEMS. Οπτικές μεμβράνες: ταινίες βελτίωσης της μετάδοσης (MGF₂), αντανακλαστικές ταινίες (AG, AL), φιλμ φίλτρων (πολυστρωματικές διηλεκτρικές μεμβράνες), που χρησιμοποιούνται σε οπτικούς φακούς, κάμερες κινητού τηλεφώνου. Λειτουργικές επικαλύψεις: Ανθεκτικές σε φθορά επικαλύψεις (κασσίτερο, CRN), μεμβράνες θερμότητας (κράματα μετάλλων), φιλμ ανθεκτικές στη διάβρωση (PTFE), που χρησιμοποιούνται σε γυαλί αυτοκινήτων, εργαλεία κοπής, εξαρτήματα αεροδιαστημικής.

2. Καθαρισμός υλικού και τροποποίηση του διαχωρισμού υλικών υψηλής καθαρότητας: Η χρήση διαφορετικών ουσιών με διαφορετική πίεση ατμών, μέσω της θέρμανσης του σκάφους εξάτμισης για να επιτευχθεί ο καθαρισμός των στοιχείων σπάνιων γαιών (όπως ND, DY), πολύτιμα μέταλλα (Au, Pt). Επεξεργασία επιφανειακής ντόπινγκ: Εξάτμιση των ντοπατών (όπως b, n) στην επιφάνεια των πλακιδίων ημιαγωγών ή των ηλεκτροδίων μπαταρίας, για τη βελτίωση των ηλεκτρικών ή οπτικών ιδιοτήτων των υλικών.

Δεύτερον, τα τεχνικά σημεία και τις απαιτήσεις σχεδιασμού

1. Ο έλεγχος της θερμοκρασίας και η ομοιομορφία του σκάφους εξάτμισης με θέρμανση αντίστασης ή θέρμανση με βομβαρδισμό δέσμης ηλεκτρονίων, πρέπει να ρυθμίσετε τη θερμοκρασία ανάλογα με την πίεση ατμών του υλικού (όπως η θερμοκρασία εξάτμισης AL περίπου 1200 βαθμών, AU περίπου 1400 βαθμοί).

Σχεδιασμός σώματος σκαφών (όπως το βάθος της αυλάκωσης, γωνία κλίσης) για να διασφαλιστεί ότι η εξάτμιση του υλικού θερμαίνεται ομοιόμορφα, για να αποφευχθεί η τοπική υπερθέρμανση που προκαλείται από την πτητοποίηση ή την πτητοποίηση της ακαθαρσίας.

2. Το περιβάλλον κενού κενού (συνήθως 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) μπορεί να μειώσει το σημείο βρασμού του υλικού, να βελτιώσει τον ρυθμό εξάτμισης, αποφεύγοντας την οξείδωση. Τα υλικά των σκαφών εξάτμισης πρέπει να είναι σταθερά υπό υψηλό κενό, όπως το σκάφος γραφίτη πρέπει να αποφεύγονται η οξείδωση υψηλής θερμοκρασίας (πρέπει να γεμίσει με αδρανές αέριο όπως AR).

3. Χημική συμβατότητα για να αποφευχθεί η εξάτμιση των υλικών και η αντίδραση των σκαφών: για παράδειγμα, η εξάτμιση των zn, που περιέχουν S υλικά, δεν πρέπει να χρησιμοποιεί σκάφος μολυβδαινίου (εύκολο να σχηματιστεί ένα χαμηλό σημείο τήξης MOS ₂ οδηγεί σε διάβρωση). Εξάτμιση του νιτριδίου νιτριδίου προτιμώμενο βόριο, για να αποφευχθεί το σώμα του μεταλλικού σκάφους και η αντίδραση του στοιχείου Ν για τη δημιουργία ακαθαρσιών.

4. Κύκλος ζωής και αντικατάστασης μετά από μακροπρόθεσμη χρήση, το σκάφος μπορεί να οφείλεται σε διάβρωση τήξης υλικού, υπολείμματα εξάτμισης ή αποτυχία παραμόρφωσης, τακτική συντήρηση (όπως υπερηχητικό καθαρισμό) ή αντικατάσταση για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα της ποιότητας επικάλυψης. Τυπικές εφαρμογές της βιομηχανίας

1. Η παρασκευή ημιαγωγών και μικροηλεκτρονικών τσιπ: εξάτμιση του AL, Cu παρασκευής ολοκληρωμένων ηλεκτροδίων κυκλώματος, χρησιμοποιώντας βάρκα με μολυβδαίνιο ή βάρκα βολφραμίου. Η εναπόθεση του στρώματος μόνωσης Sio₂ μπορεί να είναι προαιρετικό σκάφος γραφίτη ή βόριο νιτριδίου (για να αποφευχθεί η μόλυνση μετάλλων). Συσκευές ισχύος: Η χρήση του Gan εξάτμισης του βόριο Nitride Gan, ALN, η παρασκευή επιταξιακού στρώματος τρανζίστορ υψηλής κινητικότητας ηλεκτρονίων (HEMT), για να αποφευχθεί η εισαγωγή ακαθαρσιών στο σώμα του μεταλλικού σκάφους.

2. Οπτικά οπτικά εξαρτήματα οπτικής τεχνολογίας: Ακρίβεια της τεχνολογίας: Ag, προετοιμασία των καθρέφτη, εξάτμιση σκαφών γραφίτη MGF₂, Sio₂ Προετοιμασία της μεμβράνης βελτίωσης της μετάδοσης, για να εξασφαλιστεί η ομοιομορφία του φιλμ και ο χαμηλός ρυθμός ελαττωμάτων.

OLED και μίνι με επικεφαλής: εξάτμιση σκαφών νιτριδίου βορίου από οργανικά υλικά εκπομπής φωτός (όπως σύμπλεγμα IR) ή κβαντικές κουκκίδες, για να αποφευχθούν τα υλικά του σώματος και τα αντιδραστικά οργανικά μόρια, για την ενίσχυση της διάρκειας ζωής των συσκευών.

3. Νέο ενεργειακό πεδίο Ηλιακά κύτταρα: Molybdenum Boat εξάτμιση Ag ηλεκτρόδιο ιλύος, γραφίτη εναπόθεση σκαφών αμαρτίας μείωση μείωσης? Στη μπαταρία του χαλκογόνου, το ιωδόνο ιώδιο βόδιου βόριο (FAPBI₃), για να αποφευχθεί η μόλυνση από υδρατμούς και ακαθαρσίες.

4. Μπαταρίες ιόντων λιθίου: Εξάτμιση σκαφών Tantalum Li Παρασκευή μετάλλου των ηλεκτροδίων μπαταρίας στερεάς κατάστασης, η χρήση της αντίστασης της διάβρωσης του λιθίου. Εξάτμιση των Β, Ν Στοιχεία με βάση την άνοδο με βάση το πυρίτιο, για την ενίσχυση της απόδοσης της ποδηλασίας.

5. Εξοπλισμός υψηλής τεχνολογίας και επικάλυψη εργαλείων αεροδιαστημικής: Εξάτμιση σκάφους βολφραμίου Ti, CR Preparation Tin, CRN Hard Coating, Βελτιώστε την αντίσταση στη φθορά των εργαλείων. Η εξάτμιση του σκαφών νιτριδίου βορίου του προδρόμου διαμαντιών, η προετοιμασία της μεμβράνης DLC που χρησιμοποιείται στα έδρανα της αεροπορίας.

Θεραπεία κράματος υψηλής θερμοκρασίας: Εξάτμιση ΑΙ, Υ και άλλων στοιχείων από σκάφος μολυβδαινίου σε φούρνο κενού για να σχηματίσουν αντιοξειδωτικές επικαλύψεις (όπως επικάλυψη αλουμίνας) για λεπίδες αεροκινητικής.

Η Shengyang New Material Co., Ltd. δεσμεύεται για την παραγωγή μη επεξεργασμένων με νιτριδίου βόριο και νιτριδίου βορίου και μπορεί να προσαρμόσει διάφορα κεραμικά μέρη νιτριδίου βόριο ανάλογα με τις ανάγκες των πελατών. Επικοινωνήστε μαζί μας εάν είναι απαραίτητο.
Τηλ: +8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com